“陆总说的没毛病！” 孙红军机敏地当捧哏。 “咱们研究起步晚，技术经验积累少，人才还不够不精，再加上特么的技术封锁，能在这么短的时间，攻克65nmarf干式光刻机，就已经很不正常了，再快就该拍科幻片了。” 陆飞笑道：“落后不可怕，可怕的是不追赶，你看我们现在，已经步入正轨了。” “可不是嘛，快赶上小霓虹了！” 孙红军嘿然一笑。 就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能，在光刻机路线上，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。 今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场，先干翻了小霓虹！ “所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先别急，arfi会有的，euv也会有的！” 陆飞环顾四周，激励士气。 “陆总！” 尹志尧郑重地点了下头，他作为中微半导体的领军人，非常清楚逻辑是两条腿走路，既跟微电子为首的单位合作arfi光刻机，又跟长春光机为主的科研所研究euv光刻机。 而且满世界找帮手，比如徕卡。 “老孙，这次的奖励方案做出来了嘛？” 陆飞侧目望向孙红军。 “已经拟出个初步方案，就等您来定。” 孙红军应了一声。 “嗯，但凡这次参与光刻机项目的，哪怕是拧了个螺丝的，也要多发奖金！” 陆飞双手叉腰，“65nm有了，还怕没有arfi？没有euv？接下来我们就向32nm、28nm，甚至28nm以下的发起冲击，不管是10年、20年，还是多长时间，也要搞出来！把这颗工业明珠给我摘下来，当弹珠卖！” “我就是怕耽误了先进制程工艺的进程，毕竟我们买不到最先进的duv光刻机。” 尹志尧脸上露出一丝愧疚。 “梁博士，你的意思呢？” 陆飞把目光投向梁孟松。 “陆总放心，难度肯定是有的，但我可以保证，32nm，今年下半年就能风险性试产。” 梁孟松话锋一转，说出难题。 芯片代工制造的过程非常复杂，需要多方面的技术和设备支持，就像14nm是个关键的分界线，28nm也是个关键的分界线。 但设备还不是他最担心的，他最担心的是中芯被台积电打倒之后，下一个就轮到逻辑。 “这种情况我不是没有考虑。” 陆飞摆了摆手：“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电，就是让章忠谋顾虑，既想对付我们，又怕失去我们的订单。” “可按我对章忠谋的了解，肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道，“另外还有三星……” 陆飞笑道：“梁博士，三星现在的技术负责人还是蒋尚义，哪怕拿到了euv光刻机，你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗？” “没有！” 梁孟松想也不想，“没这个可能！” “对嘛，就连40／45nm工艺，三星还是靠我们，很难说不会又在一个节点上卡住，难以突破。”陆飞严肃说，“这么一比，台积电才是我们最大的敌人！不管现在，还是将来！” “台积电那边计划今年过渡到32nm，然后最早在明年转向28nm，我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。 “梁博士，假如，我是说假如，假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片，假如逻辑还造不出比较先进的光刻机，假如……” 陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。 “陆总，这种极限施压情况下，也不是没有办法，可以考虑多重曝光技术。” 梁孟松沉吟片刻，一一列出优缺点。 尤其是缺点，虽然经过多重曝光工艺，可以改变光刻机的制程极限，但良品率低。 而且每次曝光都需要校准，而对准误差会在多次曝光中积累，进而影响芯片的质量。 “除了损耗，就是成本，多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备，这个投入可能……” 不等梁孟松往下说，孙红军突然打断。 陆飞和他相视一笑，光刻机的光刻胶等材料，早就纳入备胎计划。 “梁博士、尹教授，我们已经投资了博康化学等十几家公司，研发攻克光刻胶这些重要材料。”孙红军笑说，“而且找了德国的明斯特、亚琛工业等多家高校，跟我们国内的科研院校，合力打破霓虹这方面的优势。” “啊？” M.cOＭiＣ5.cＯm